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EDI超纯水处理设备主要应用领域有哪些?

文章出处:公司动态 责任编辑:深圳市荣华荣水处理设备有限公司 发表时间:2026-04-11
  

EDI超纯水处理设备是一种集成了电渗析与离子交换技术的深度精处理设备,是目前制备工业超纯水环保的核心工艺。

EDI超纯水处理设备

完整的超纯水系统通常分为三级:
预处理:多介质 / 活性炭 / 软化 / 精密过滤 → 除浊、余氯、硬度
一级除盐:反渗透(RO) → 去除 99% 盐分,产水电导率 < 20 μS/cm
深度精处理(EDI):电去离子模块 → 产水电阻率 15–18.2 MΩ·cm (25℃)
终端抛光(可选):抛光混床 / UV / 超滤 → 满足半导体级(≥18.2 MΩ・cm,TOC < 1 ppb)
主要应用领域
1. 电子 / 半导体行业(最核心应用)
芯片、晶圆清洗、光刻、蚀刻
要求:≥18.2 MΩ・cm、TOC < 1 ppb、无颗粒物
2. 生物医药 / 制药
注射用水(WFI)、洗瓶、制剂、GMP 认证用水
3. 电力 / 电站
锅炉补给水、冷却水处理 → 防结垢、防腐蚀
4. 实验室 / 科研
HPLC、ICP-MS、细胞培养、精密分析用水
5. 其他
光电显示(LCD/OLED)、太阳能光伏、精密电镀、食品饮料
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